歡迎來到深圳市京都玉崎電子有限公司！
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產(chǎn)品分類 / PRODUCT
更新時(shí)間：2026-07-04 
瀏覽次數(shù)：86驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)：zhuan利六段三重凸輪三柱塞交替吸排，脈動(dòng)≤0.5%，無需緩沖罐；
流量特性：流量與伺服轉(zhuǎn)速嚴(yán)格線性，不受出口壓力、介質(zhì)粘度波動(dòng)干擾；
機(jī)械結(jié)構(gòu)：柱塞強(qiáng)制機(jī)械回程，高粘度漿料、膠液無吸料不足、丟量問題；
接液材質(zhì)通用可選：電解拋光 SUS316、哈氏合金、鈦材、全 PEEK/PTFE 非金屬無金屬析出泵頭；
選配配件：恒溫冷熱夾套、氮?dú)獯祾吒艚^空氣、在線清洗模塊、伺服閉環(huán)控制系統(tǒng)；
控制方式：4-20mA 模擬量、RS485 通訊，可直接對(duì)接無塵車間 PLC 自動(dòng)化系統(tǒng)。
全系最大單泵流量，覆蓋 60~108.6mL/min 量產(chǎn)區(qū)間，單臺(tái)替代多臺(tái) HYM-03/06 并聯(lián)，簡(jiǎn)化管路與控制；
8mm 大柱塞截面，高粘度光刻膠、PI 聚酰亞胺、高固含量漿料輸送吸料能力zui強(qiáng)；
無 200bar 以上高壓定制版本，僅適配 98bar 以內(nèi)中低壓量產(chǎn)工況；
同等輸出流量下電機(jī)轉(zhuǎn)速更低，凸輪、柱塞、閥組磨損更小，長期 24h 量產(chǎn)校準(zhǔn)周期更長；
可選用雙頭款 HYM-W-08，最大流量翻倍至 217.2mL/min，適配寬幅卷對(duì)卷連續(xù)產(chǎn)線。
介質(zhì)：高粘度光刻膠、PI 固化液、抗反射涂層 ARC、厚膜絕緣膠；
工況：寬幅模頭連續(xù) 24h 供液，單路流量 60–100mL/min，單泵獨(dú)立供給整幅涂布模頭；
優(yōu)勢(shì)：無脈動(dòng)消除整片晶圓膜厚波浪條紋，大柱塞高粘度輸送不缺料，批次膜厚一致性大幅提升；
材質(zhì)選型：PEEK 泵頭，杜絕金屬離子污染晶圓。
濕膜光刻膠連續(xù)滾涂：卷對(duì)卷高速產(chǎn)線大流量穩(wěn)定供膠，避免板面厚薄不均；
大容量蝕刻槽、化學(xué)鍍槽持續(xù)補(bǔ)液：氯化銅蝕刻母液、沉鎳鈀金藥劑長期自動(dòng)補(bǔ)加，穩(wěn)定藥液濃度，減少停機(jī)換液；
阻焊綠油量產(chǎn)涂布：高粘度油墨穩(wěn)定輸送，杜絕斷涂、色差缺陷，選用 316 拋光泵頭易清洗。
大流量底填膠、環(huán)氧密封膠集中供膠系統(tǒng)：多芯片堆疊 WLCSP、大批量芯片封裝連續(xù)點(diǎn)膠供料；
晶圓電鍍生產(chǎn)線大容量添加劑補(bǔ)給：哈氏合金泵頭耐酸性鍍液氯離子腐蝕，穩(wěn)定鍍層均勻性。
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